半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉：近期，亞芯半導(dǎo)體材料（江蘇）有限公司（簡稱“亞芯國際Asian Chip”）已完成一期投資3億元，配備生產(chǎn)超高純金屬靶材及部件、超高純陶瓷靶材和部件的量產(chǎn)產(chǎn)線、氣相沉積生產(chǎn)線、胚料高壓水切割線、真空高溫處理生產(chǎn)線、胚料軋制生產(chǎn)線、真空熱處理爐、數(shù)控加工中心、材料檢測系統(tǒng)等設(shè)備，達(dá)產(chǎn)后將年生產(chǎn)超高純金屬與濺射靶材10000片的生產(chǎn)能力，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值超10億元，產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。

靶材作為半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料和關(guān)鍵核心器件，長期依賴進(jìn)口。尤其是超高純度的半導(dǎo)體芯片制造金屬靶材，成為困擾國內(nèi)企業(yè)的關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)。

據(jù)了解，亞芯半導(dǎo)體材料（江蘇）有限公司成立于2019年6月，專業(yè)從事超高純薄膜材料(磁控濺射靶材)、蒸鍍源(Slug)顆粒的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售的高新技術(shù)企業(yè)。亞芯國際堅(jiān)持以科技為創(chuàng)新動力，十分注重自主研發(fā)與創(chuàng)新，擁有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)。硅谷海歸（海外）一流的研發(fā)團(tuán)隊(duì)、國際靶材和應(yīng)用公司技術(shù)精英，中科院材料所長期合作，先進(jìn)的設(shè)備平臺保障技術(shù)領(lǐng)先性；中國市場實(shí)戰(zhàn)幾十年商業(yè)人脈，提供生態(tài)鏈資源強(qiáng)支持。

亞芯相關(guān)負(fù)責(zé)人表示：“亞芯創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)從2015年開始，就聯(lián)合國內(nèi)外相關(guān)高校院所，潛心攻關(guān)難熔金屬提純技術(shù)、提純生產(chǎn)設(shè)備制造兩項(xiàng)課題，成功實(shí)現(xiàn)鎢、鉭等難熔金屬的高效制備，材料純度穩(wěn)定在8N（99.999999%）水平，達(dá)到了目前全球行業(yè)測試的極限，實(shí)現(xiàn)了對集成電路“卡脖子”技術(shù)的關(guān)鍵突破，突破了高純度靶材的技術(shù)制造難關(guān)，徹底打破國外壟斷。目前亞芯國際研發(fā)生產(chǎn)的超高純金屬靶材&蒸發(fā)顆粒，已成功獲得了國際一流芯片制造廠商的認(rèn)證和合作。”

亞芯關(guān)鍵核心技術(shù)采用除了一般金屬常用的大氣熔鑄、真空熔鑄之外，粉末冶金工藝更是公司專精卓越技術(shù)的最佳體現(xiàn)。目前已建成了多條包括貴金屬、非貴金屬及旋轉(zhuǎn)靶材&蒸發(fā)顆粒生產(chǎn)線，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于觸摸屏、顯示屏、航空航天、薄膜太陽能、大數(shù)據(jù)存儲、柔性電子、集成電路芯片、LED芯片、Low-E玻璃等行業(yè)。

“經(jīng)過數(shù)年持續(xù)研發(fā)，自主創(chuàng)新，集中攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)了涵蓋貴金屬、非貴金屬單質(zhì)、合金全系列高純金屬材料、濺射靶材和蒸發(fā)膜材，涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域全尺寸、全品類濺射靶材關(guān)鍵制備技術(shù)突破與提升。形成國內(nèi)規(guī)模宏大、種類齊全、技術(shù)能力一流的高純金屬濺射靶材綜合性工程化研發(fā)平臺和產(chǎn)業(yè)基地。具備從超高純原材料到濺射靶材、蒸發(fā)膜材到貴金屬回收提純垂直一體化研發(fā)、生產(chǎn)能力的產(chǎn)業(yè)化平臺。”

亞芯上述負(fù)責(zé)人表示：亞芯將以領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢、完善的品質(zhì)體系和卓越的客戶服務(wù)水平，打造行業(yè)的優(yōu)秀品牌，為中國半導(dǎo)體芯片材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。

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