1月21日，國產(chǎn)立式爐設備供應商上海微釜半導體設備有限公司（簡稱“微釜半導體”）完成新一輪融資。本輪融資由沃衍資本等國內(nèi)知名機構投資，用于半導體前道關鍵工藝設備的研發(fā)和量產(chǎn)。

資料顯示，微釜半導體成立于2022年，位于上海市松江區(qū)，是一家專注于提供半導體立式爐設備解決方案的半導體設備企業(yè)。半導體立式爐設備長期被國外設備廠商壟斷，微釜半導體團隊擁有深厚的產(chǎn)業(yè)背景和突破“卡脖子”的技術研發(fā)能力，已開展多款立式爐管設備的研發(fā)工作，產(chǎn)品覆蓋邏輯、模擬、存儲器、MEMS等多種半導體芯片制造的需求。 

立式爐設備屬于半導體前道制程設備中的薄膜沉積以及熱處理設備，實現(xiàn)在特定壓力和溫度條件下在晶圓表面沉積薄膜材料或?qū)A進行熱處理工藝，廣泛用于各類半導體芯片的制造。受益于國內(nèi)集成電路芯片制造新增需求的拉動，立式爐設備的國內(nèi)市場容量已經(jīng)達到百億元人民幣的規(guī)模。 

對于此次融資，微釜半導體創(chuàng)始人姜蔚先生表示：“沃衍資本是國內(nèi)一流的產(chǎn)業(yè)科技投資機構，此次能夠與沃衍資本合作，我們感到非常榮幸。微釜半導體聚焦立式爐設備平臺技術，以技術創(chuàng)新為發(fā)展動力，覆蓋半導體集成電路各個工藝路線的前道制程，希望助力立式爐設備國產(chǎn)化的加速。” 

對于此次投資微釜半導體，沃衍資本表示：“隨著半導體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化不斷加深，工藝技術迭代不斷加速，半導體關鍵制造設備的自主可控越發(fā)重要。沃衍資本非常榮幸能夠參與微釜半導體的本輪融資，這是沃衍四期基金在半導體前道工藝設備領域的重要布局。沃衍資本長期以來堅持以產(chǎn)業(yè)動態(tài)與技術趨勢研究為驅(qū)動力，深入挖掘企業(yè)的核心競爭力，堅定支持國產(chǎn)半導體關鍵設備及其供應鏈的突破和發(fā)展。”‍

來源：集微網(wǎng)