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富加鎵業(yè)氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延片性能再創(chuàng)新高

日期:2025-06-09 閱讀:607
核心提示:經(jīng)國(guó)家權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)——中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院測(cè)試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質(zhì)外延片載流子濃度為4.2E16cm-3,遷移率達(dá)到181.6cm2/V·s。

 近日,杭州富加鎵業(yè)科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱:富加鎵業(yè))在氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延技術(shù)方面再次取得突破,經(jīng)國(guó)家權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)——中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院測(cè)試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質(zhì)外延片載流子濃度為4.2E16cm-3,遷移率達(dá)到181.6cm2/V·s?;贛OCVD技術(shù)的高質(zhì)量氧化鎵同質(zhì)外延片的研制成功,將有效助力氧化鎵高壓大功率電力電子器件產(chǎn)業(yè)的快速落地。

2025年3月,富加鎵業(yè)基于自主生產(chǎn)的氧化鎵襯底產(chǎn)品,利用MOCVD技術(shù),已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了10μm以上厚度的氧化鎵同質(zhì)外延片遷移率達(dá)到172.7 cm2/V·s技術(shù)重大突破(富加鎵業(yè)氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延技術(shù)取得突破,助力下游垂直功率電子器件產(chǎn)業(yè)落地);在此基礎(chǔ)上,研究人員進(jìn)一步優(yōu)化了MOCVD外延過(guò)程中背景雜質(zhì)控制,精確調(diào)控?fù)诫s濃度,提升氧化鎵同質(zhì)外延薄膜質(zhì)量。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)化外延產(chǎn)品(規(guī)格書如下)已于2025年6月同步上市,更好服務(wù)于氧化鎵器件廠家及下游用戶。

杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日,是杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所注冊(cè)成立的第一家“硬科技〞企業(yè),公司以“讓世界用上好材料”為愿景,開展寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作,核心產(chǎn)品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD外延片、MBE外延片、氧化鎵晶體生長(zhǎng)及加工裝備,產(chǎn)品主要服務(wù)于功率器件、微波射頻及光電探測(cè)等領(lǐng)域。2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè);2023年獲得國(guó)家高新技術(shù)企業(yè);2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專精特新中小企業(yè);2025年獲得ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證(編號(hào):20225Q20294R0M);在氧化鎵領(lǐng)域,承擔(dān)了國(guó)家發(fā)改委項(xiàng)目1項(xiàng),國(guó)家工信部項(xiàng)目1項(xiàng),參與了國(guó)家自然科學(xué)基金委、浙江省、上海市等國(guó)家及省部級(jí)項(xiàng)目3項(xiàng)。另外,獲得國(guó)際專利授權(quán)12項(xiàng)(美國(guó)6項(xiàng),日本6項(xiàng)),國(guó)內(nèi)專利授權(quán)40項(xiàng),“富加鎵業(yè)”商標(biāo)認(rèn)證注冊(cè)3項(xiàng),軟件著作權(quán)(“一鍵長(zhǎng)晶”控制軟件)4項(xiàng)。

 
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