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CSPSD 2025前瞻|中國科學(xué)院微電子所黃森:高可靠GaN基MIS-HEMT功率器件與集成

日期:2025-04-30 閱讀:411
核心提示:5月22-24日, “2025功率半導(dǎo)體器件與集成電路會(huì)議(CSPSD 2025)”將于南京舉辦,中國科學(xué)院微電子研究所,研究員黃森將受邀出席論壇,并分享《高可靠GaN基MIS-HEMT功率器件與集成》的主題報(bào)告。

頭圖

基于AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)構(gòu)的絕緣柵高電子遷移率晶體管(MIS-HEMT)器件具有高頻低導(dǎo)通、高柵極可靠性以及良好的尺寸微縮特性,有望應(yīng)用于航空航天、人工智能和芯片端供電等新興領(lǐng)域,為集成電路提供高能效電源管理方案。然而由于缺乏高質(zhì)量的本征氧化層,介質(zhì)/GaN界面存在高密度的界面態(tài),這些界面態(tài)的緩慢充放電導(dǎo)致閾值電壓不穩(wěn)定性和動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻退化等問題,成為制約GaN基MIS-HEMT器件實(shí)用化的兩大難題。 

5月22-24日, “2025功率半導(dǎo)體器件與集成電路會(huì)議(CSPSD 2025)”將于南京舉辦。本次論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),南京郵電大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.ybx365.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)共同主辦。南京郵電大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院(產(chǎn)教融合學(xué)院)、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。電子科技大學(xué)、南京郵電大學(xué)南通研究院、蘇州鎵和半導(dǎo)體有限公司、揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司等單位協(xié)辦。 

會(huì)議設(shè)有開幕大會(huì)&主旨報(bào)告,以及硅及寬禁帶半導(dǎo)體材料、器件及集成應(yīng)用,超寬禁帶材料、器件及集成應(yīng)用,功率集成交叉與應(yīng)用,先進(jìn)封裝與異構(gòu)集成等4個(gè)平行論壇,將覆蓋晶圓造、芯片設(shè)計(jì)、芯片加工、模塊封裝、測(cè)試分析、軟件工具、設(shè)備制造、整機(jī)應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)。  

屆時(shí),中國科學(xué)院微電子研究所,研究員黃森將受邀出席會(huì)議,并分享《高可靠GaN基MIS-HEMT功率器件與集成》的主題報(bào)告。報(bào)告將詳細(xì)介紹如何提高自主超薄勢(shì)壘AlGaN(<6 nm)/GaN增強(qiáng)型MIS-HEMT的可靠性,同時(shí)探討其與GaN基功率和驅(qū)動(dòng)控制電路集成的可行性,敬請(qǐng)關(guān)注!

黃森 

嘉賓簡介 

黃森,中國科學(xué)院微電子研究所研究員,中科院大學(xué)博士生導(dǎo)師,IEEE高級(jí)會(huì)員,獲國家自然基金優(yōu)秀青年基金、中國科學(xué)院青促會(huì)優(yōu)秀會(huì)員等人才項(xiàng)目資助。2009年博士畢業(yè)于北京大學(xué),長期致力于高性能GaN基功率器件工藝和物理研究,在新型增強(qiáng)型器件設(shè)計(jì),高壓表面鈍化,低界面態(tài)工藝和高可靠柵介質(zhì),以及大尺寸Si基GaN絕緣柵功率器件關(guān)鍵制程等方面取得若干具有國際影響力的創(chuàng)新成果。迄今在IEEE EDL/TED等電子器件權(quán)威期刊以及IEDM、ISPSD等微電子領(lǐng)域國際頂級(jí)會(huì)議上發(fā)表論文120余篇,申請(qǐng)美國專利8項(xiàng),中國專利40余項(xiàng),部分技術(shù)成果已經(jīng)被企業(yè)使用。作為負(fù)責(zé)人主持承擔(dān)了科技部重點(diǎn)研發(fā)、國家自然基金重點(diǎn)/面上項(xiàng)目、中科院前沿科學(xué)重點(diǎn)研究和中國科學(xué)院-裘槎基金會(huì)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室資助計(jì)劃等項(xiàng)目。2022年獲得中國電子學(xué)會(huì)自然科學(xué)二等獎(jiǎng)和中國儀器儀表學(xué)會(huì)技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。 

中國科院微電子所寬禁帶半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)是國內(nèi)最早開展化合物半導(dǎo)體器件和電路研究的團(tuán)隊(duì)之一,建立了國內(nèi)第一批化合物半導(dǎo)體研發(fā)線,并引領(lǐng)該研究領(lǐng)域的發(fā)展。規(guī)劃方向主要依托研究所高頻高壓中心,開展GaN、SiC等化合物半導(dǎo)體在5G移動(dòng)通信、毫米波、以及電力電子器件方面的研究,逐步打造成國內(nèi)化合物半導(dǎo)體電路及器件方面的高端產(chǎn)品研發(fā)平臺(tái)、技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化平臺(tái)和技術(shù)服務(wù)共享平臺(tái)。

組織機(jī)構(gòu)

指導(dǎo)單位:

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)

主辦單位:南京郵電大學(xué)極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.ybx365.cn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

承辦單位:南京郵電大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院(產(chǎn)教融合學(xué)院)北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

協(xié)辦支持:電子科技大學(xué)南京郵電大學(xué)南通研究院蘇州鎵和半導(dǎo)體有限公司

大會(huì)主席:郭宇鋒

聯(lián)合主席:柏松 張波 趙璐冰

程序委員會(huì):盛況 陳敬 張進(jìn)成 陸海 唐為華 羅小蓉 張清純 龍世兵 王來利 程新紅 楊媛 楊樹 張宇昊 劉斯揚(yáng) 章文通 陳敦軍 耿博 郭清 蔡志匡 劉雯  鄧小川 魏進(jìn) 周琦 周弘 葉懷宇 許晟瑞 張龍 包琦龍 金銳 姚佳飛 蔣其夢(mèng) 明鑫 周春華 等

組織委員會(huì)

主 任:姚佳飛  

副主任:涂長峰

成 員: 張茂林 周峰 徐光偉 劉盼 王珩宇 楊可萌 張珺 王曦 羅鵬 劉成 劉宇 馬慧芳 陳靜 李曼 賈欣龍等

主題方向

1. 硅基功率器件與集成技術(shù)

硅基、SOI基功率器件、可集成功率器件、器件仿真與設(shè)計(jì)技術(shù)、器件測(cè)試表征技術(shù)、器件可靠性、器件制造技術(shù)、功率集成IC技術(shù)

2. 碳化硅功率器件與集成技術(shù)

碳化硅功率器件、器件設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測(cè)試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù)

3. 氮化鎵、III/V族化合物半導(dǎo)體功率器件與功率集成

氮化鎵功率器件、III/V族化合物(AlN、GaAs)半導(dǎo)體功率器件、器件設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測(cè)試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù) 

4. 氧化鎵/金剛石功率器件與集成技術(shù)

氧化鎵/金剛石功率器件、器件設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測(cè)試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù)

5. 模組封裝與應(yīng)用技術(shù)

功率器件、模組與封裝技術(shù)、先進(jìn)封裝技術(shù)與封裝可靠性

6. 面向功率器件及集成電路的核心材料、裝備及制造技術(shù)

核心外延材料、晶圓芯片及封裝材料;退火、刻蝕、離子注入等功率集成工藝平臺(tái)與制造技術(shù);制造、封裝、檢測(cè)及測(cè)試設(shè)備等

7. 功率器件交叉領(lǐng)域

基于新材料(柔性材料、有機(jī)材料、薄膜材料、二維材料)的功率半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、制造與集成技術(shù);人工智能驅(qū)動(dòng)的功率器件仿真,建模與設(shè)計(jì)、封裝與測(cè)試

會(huì)議日程

日程 

參會(huì)與擬邀單位

中電科五十五所、電子科技大學(xué)、英飛凌、華虹半導(dǎo)體、揚(yáng)杰科技、士蘭微、捷捷微電、英諾賽科、中科院上海微系統(tǒng)所、氮矽科技、中科院微電子所、中科院半導(dǎo)體所、三安半導(dǎo)體、芯聯(lián)集成、斯達(dá)半導(dǎo)體、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、浙江大學(xué)、東南大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、廈門大學(xué)、南京大學(xué)、天津大學(xué)、長飛半導(dǎo)體、華為、溫州大學(xué)、明義微電子、海思半導(dǎo)體、瞻芯電子、基本半導(dǎo)體、華大九天、博世、中鎵半導(dǎo)體、江蘇宏微、蘇州晶湛、百識(shí)電子、超芯星、南瑞半導(dǎo)體、西交利物浦大學(xué)、西安理工大學(xué)、北京智慧能源研究院、高芯(河南)半導(dǎo)體、中科院納米所、平湖實(shí)驗(yàn)室、北京工業(yè)大學(xué)、南方科技大學(xué)、華南師范大學(xué)、立川、國電投核力創(chuàng)芯、華中科技大學(xué)等……

動(dòng)參與:   

注冊(cè)費(fèi)2800元,5月15日前注冊(cè)報(bào)名2500元(含會(huì)議資料袋,23日午餐、歡迎晚宴、24日自助午餐及晚餐)

繳費(fèi)方式

①銀行匯款

開戶行:中國銀行北京科技會(huì)展中心支行

賬 號(hào):336 356 029 261

名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

②移動(dòng)支付

移動(dòng)支付

備注:通過銀行匯款/移動(dòng)支付,請(qǐng)務(wù)必備注:單位簡稱+姓名+南京,以便后續(xù)查詢及開具發(fā)票。若需開具發(fā)票請(qǐng)將報(bào)名信息、轉(zhuǎn)賬憑證及開票信息發(fā)送至郵箱:lilyli@china-led.net。

掃碼預(yù)報(bào)名

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備注:此碼為預(yù)報(bào)名通道,完成信息提交后,需要對(duì)公匯款或者掃碼支付注冊(cè)費(fèi)。

論文投稿及報(bào)告咨詢:

賈老師  18310277858  jiaxl@casmita.com

姚老師  15951945951  jfyao@njupt.edu.cn

張老師  17798562651  mlzhang@njupt.edu.cn 

李老師  18601994986  linan@casmita.com

贊助、展示及參會(huì)聯(lián)系:

賈先生  18310277858   jiaxl@casmita.com

張女士  13681329411  zhangww@casmita.com

投稿模板下載:投稿模板_CSPSD2025.docx    文章?lián)駜?yōu)推薦到EI期刊《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)(英文)》。 

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