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山東晶鎵申請一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法專利,提高了氮化鎵晶圓的拋光效率

日期:2025-03-21 閱讀:253
核心提示:國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司申請一項名為一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法的專利,公開號 CN 119635

國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司申請一項名為“一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法”的專利,公開號 CN 119635419 A,申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示,本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法,包括如下步驟:S1,將研磨沖洗后的氮化鎵晶圓固定于拋光機的夾具上;S2,對拋光機的密封艙進(jìn)行抽真空處理,直至真空度達(dá)到設(shè)定的真空度閾值,然后向密封艙內(nèi)充入氧氣,直至密封艙內(nèi)氧氣的壓力值達(dá)到設(shè)定的壓力閾值;S3,打開紫外燈和加熱器,紫外燈照射拋光液,加熱器將拋光液加熱到設(shè)定的溫度并維持該溫度恒定,然后啟動拋光機,對氮化鎵晶圓進(jìn)行拋光;S4,對拋光完成后對氮化鎵晶圓進(jìn)行清洗。本方法提高了氧化速率,進(jìn)而提高了氮化鎵晶圓的拋光效率。

天眼查資料顯示,山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司,成立于2023年,位于濟南市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本1307.1895萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,山東晶鎵半導(dǎo)體有限公司參與招投標(biāo)項目2次,專利信息9條,此外企業(yè)還擁有行政許可5個。

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