天眼查顯示，大連理工大學“氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應用”專利公布，申請公布日為2024年3月26日，申請公布號為CN117761126A。
本發(fā)明公開了一種氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應用，制備方法包括：對襯底進行鍍膜形成非晶氮化鎵薄膜，得到含有非晶氮化鎵薄膜的襯底；對含有非晶氮化鎵薄膜的襯底進行熱退火，使非晶氮化鎵薄膜轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑У壉∧?，得到含有多晶氮化鎵薄膜的襯底；對含有多晶氮化鎵薄膜的襯底進行濕法腐蝕，在非晶氮化鎵薄膜的表面形成多孔結(jié)構(gòu)，得到具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底；對具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底涂覆光刻膠后進行圖案化光刻，得到具有叉指電極圖形的襯底；目標圖形為叉指電極圖形；在具有目標圖形的襯底上生長電極后，去除剩余光刻膠得到氮化鎵氣體傳感器。本發(fā)明的氮化鎵氣體傳感器符合用于檢測或監(jiān)測氨氣的高靈敏度、低檢測限和高敏選擇性需求。
