據(jù)上海交大無錫光子芯片研究院官微消息，1月5日，上海交通大學無錫光子芯片研究院（CHIPX）光子芯片中試線首批設備搬入儀式隆重舉行，標志著CHIPX建設邁入全新發(fā)展階段。

據(jù)悉，上海交通大學無錫光子芯片研究院作為無錫市在光子芯片領域布局的重大項目，正在建設的國內(nèi)首個光子芯片中試線承載著關鍵技術攻關、重大科研成果轉(zhuǎn)化、新興技術產(chǎn)業(yè)化落地的使命。本次揭幕的設備是薄膜鈮酸鋰光子芯片中試線的關鍵組成部分，主要用于光刻、干法刻蝕、薄膜沉積、濕法清洗以及切割工藝的研發(fā)，可部分滿足6/8英寸晶圓薄膜鈮酸鋰光子芯片制造中光刻、刻蝕、沉積、清洗和切割需求。

未來，研究院將充分發(fā)揮光子芯片中試線的稀缺性和工藝優(yōu)勢，以光子芯片底層技術為驅(qū)動，融合芯、光、智、算產(chǎn)業(yè)要素，加速形成 “平臺+孵化+基金”三位一體的產(chǎn)學研創(chuàng)新生態(tài)體系，共同把光子芯谷一期、二期打造成為萬億產(chǎn)業(yè)，成為世界級光子芯片產(chǎn)業(yè)化中心。