天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司”一種半導(dǎo)體設(shè)備及其晶圓傳輸腔室和晶圓傳輸方法“專利獲授權(quán)，授權(quán)公告日為11月14日，授權(quán)公告號為CN111261565B。
專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備及其晶圓傳輸腔室和晶圓傳輸方法，其中晶圓傳輸腔室包括，抽氣組件，用于從所述腔室本體中抽氣；標記檢測組件，位于所述腔室本體中，用于檢測晶圓上的對準標記；定位校準組件，位于所述腔室本體中，用于承載晶圓，帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，并在所述標記檢測組件檢測到所述對準標記后，逐漸停止旋轉(zhuǎn)，使晶圓停止在一預(yù)設(shè)位置處。
據(jù)悉，本發(fā)明的有益效果在于，在對晶圓傳輸腔室抽真空的過程中通過標記檢測組件檢測晶圓的對位標記，通過定位校準組件實現(xiàn)對晶圓的定位校準，將原來分步進行的步驟（晶圓定位校準和腔室抽真空）合并在一個步驟中同時進行，縮短了晶圓的傳輸時間，提高了機臺的使用效率。
