3月10日，眾鴻半導(dǎo)體項目簽約儀式在上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)公司舉辦。

 

圖片來源：上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)

 

眾鴻半導(dǎo)體項目主要進行光刻工藝的主設(shè)備——涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化研發(fā)，現(xiàn)計劃入駐臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園8-2廠房進行設(shè)備的批量生產(chǎn)使用。據(jù)介紹，項目計劃在臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)鉆石園新增生產(chǎn)廠房作為設(shè)備量產(chǎn)場所，2021-2023計劃投入12寸涂膠顯影設(shè)備以及其他半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)并量產(chǎn)化。

 

上海眾鴻半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“眾鴻半導(dǎo)體”）為上海眾鴻電子科技有限公司全資子公司，于2019年01月在臨港自由貿(mào)易新片區(qū)成立。

 

上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)消息顯示，眾鴻半導(dǎo)體拳頭產(chǎn)品是專用光阻涂膠顯影設(shè)備。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于硅片（Si）、化合物半導(dǎo)體：砷化鎵（GaAs)，氮化鎵（GaN)，碳化硅（SiC)等集成電路制造領(lǐng)域。成立至今，眾鴻半導(dǎo)體已獲得專利37項，合作客戶有中芯國際、臺積電、 三安集成、積塔半導(dǎo)體、華潤上華、長電科技、通富微、塞萊克斯等。

 

據(jù)介紹，眾鴻半導(dǎo)體致力于研發(fā)與制造更適合中國企業(yè)應(yīng)用的涂膠顯影設(shè)備，將全力以赴為集成電路工藝設(shè)備國產(chǎn)化出力，推動涂膠顯影設(shè)備的進口替代在臨港新片區(qū)起航，助力“東方芯港”打造集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)體系。